實(shí)驗(yàn)室超聲波清洗器通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

　　清洗機(jī)中的等離子體與自然界產(chǎn)生的等離子體本質(zhì)上是一樣的，是區(qū)別于固體、液體和氣體的另一種物質(zhì)聚集態(tài)，人們稱之為物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)。它由電離的導(dǎo)電氣體組成，其中包括六種典型的粒子，即電子、正離子、負(fù)離子、激發(fā)態(tài)的原子或分子、基態(tài)的原子或分子以及光子。
 

　　實(shí)驗(yàn)室超聲波清洗器主要由以下三大部分組成：

　　1、控制單元。現(xiàn)在的清洗機(jī)主要有全自動控制、半自動控制、PC控制、液晶觸摸屏控制四種控制單元，而控制單元主要由電源、控制系統(tǒng)、控制按鈕和操作顯示器等部分組成。

　　2、真空泵。本設(shè)備的主要動力來源就是真空泵，主要作用是將真空腔體中的空氣抽干，達(dá)到真空的環(huán)境，然后再進(jìn)行清洗。真空泵主要分為干泵和油泵。干泵主要以電力為動力源，而油泵則使用汽油或柴油為動力源。

　　3、真空腔體。真空腔體就是用于清洗對象物的空間，主要有石英腔體和不銹鋼真空腔體。由于其內(nèi)部采用真空滅菌防菌以及等離子清洗法，對于腔體壓力的承受有著一定的要求，所以需要采用材質(zhì)較好的腔體進(jìn)行配置。

　　該設(shè)備是在清洗時通入工作氣體在電磁場的作用下所激發(fā)的等離子與物體表面產(chǎn)生物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)。其中，物理反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面終被真空泵吸走；化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，從而達(dá)到清洗目的。

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